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專注無機氟化鹽
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桓臺匯永化工產品銷售有限公司
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1、產品用途
產品主要用于集成電路(IC)和超大規模集成電路(VLSI)制造中，電子級高純氫氟酸是關鍵輔助材料之一。主要用于晶圓表面清洗、芯片加工過程中的清洗和蝕刻等工序。在太陽能光伏行業中，用于硅片表面清洗、蝕劑等領域。硅錠到硅片，再到電池片的第一道工藝程序：清洗制絨環節會用到產品。在液晶顯示器行業，用于玻璃基板清洗、氮化硅、二氧化硅蝕劑等。在TFT—LCD、半導體產業中也被廣泛使用。還可用作分析試劑、原子能工業化學試劑和制備高純度的含氟化學品。目前，在國內基本上是作為蝕刻劑和清洗劑用于微電子行業，其他方面用量較少。
2、產品分類
UP—S級：適用于0.35—0.80um集成電路加工工藝，金屬雜質含量低于1.00ug/L，經過0.05um孔徑過濾器過濾，控制0.20Ixm粒子，在100級凈化環境中灌裝達到SEMIC8標準。
UP級：適用于1.00um集成電路及TFT—LCD制造工藝，金屬雜質含量低于10mg/kg，經過0.20um孔徑過濾器過濾，控制0.50um粒子，在100級凈化環境中灌裝，達到SEMIC7標準。
EL級：金屬雜質含量低于100mg/kg，控制1.00um粒徑粒子，達到SEMI C1，C2標準，適合中小規模集成電路及電子元件加工工藝。
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